方案描述
项目简介
特点：1．可实现大面积光子晶体；2．二维光子晶体的晶粒结构可控制为六边形，利于ICP刻蚀；3．操作简单，设计灵活，成本低，能适用于大批量生产；结合ICP刻蚀工艺，对于提高LED的外量子效率潜力很大。
主要技术指标：光栅衍射效率≥60%； 信噪比η≥13dB； 光子晶体面积4cm×4cm； 格点精度d≤λ/10； 晶粒分布均匀度D≥90%。
技术成熟度
用该系统在材料上已实现了二维和三维结构的光子晶体。目前正实验应用该仪器将光子晶体结构置入LED中，以实现LED的外量子效率达到20%-30%。
应用范围
应用于高效率LED 。
投产条件和预期效益
投产条件：
合作方应是以制作高效率LED为主的公司
合作方式
合作开发。
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