研究方向/领域 :

微纳传感器；微型无人机

服务企业、产业相关工作成效、研究成果与荣誉：

从事微纳机电系统（MEMS）及微型无人机方面的研究工作。主持了包括中科院联合基金重大项目，国家自然基金,所自有基金，国家重点实验室开放基金及横向课题在内的17项课题,总经费超1700余万元。同时参与了国家973子课题、“纳米制造的基础研究”重大研究计划培育项目、省科技支撑计划（工业）面上项目及中科院苏州纳米所所长基金项目等课题的研究工作。目前在Advanced Materials, J. Mater. Chem. C, IEEE EDL，APL, Analyst，RSC Adv.,物理学报等国内外著名期刊发表论文30余篇,申请专利18项，获授权专利8项。培养硕士、博士研究生10名（毕业4名），其中所开发的原子力显微镜探针(AFM 探针) 已由合作公司进行销售。2018年“镇江高新区杯”先进制造业创新创业大赛总决赛二等奖。

研究成果与项目：

围绕国家发展战略目标，以市场需求为导向，以人工智能领域，国防安全领域，生态环境领域以及生物医学等领域的需求为研究背景，聚焦新原理、新工艺、新加工技术以及集成技术研究，开发满足相关领域需求的新颖的微纳器件及微纳智能飞行平台系统。

1. “生化信息检测及传感器技术”方面，以ISFET器件为平台，有机结合纳米敏感材料合成、功能化、原位组装方法，进行抗原-抗体、重金属离子、痕量爆炸物及室温条件下的有害气体检测技术研究。

2. “MEMS/NEMS器件及工艺开发”方面，拟建立湿法深硅刻蚀技术，突破干法刻蚀设备制备大高宽比纳米结构存在的技术瓶颈，基于该技术进行跨尺度微纳结构的按需构筑的研究，为实现低成本微纳集成制造提供工艺基础。进行硅基悬臂梁及原子力显微镜探针的产业化应用研究。

3."微型智能无人飞行器"方面, 开展微型智能飞行平台的研究工作，研制出具备起飞、降落、避障及自主飞行等能力的微型飞行器系统。